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離子槍(IS40C1)及配套電源

發(fā)布日期:2024-12-20 21:01 瀏覽次數(shù):

描述:

  離子源IS 40C1是一個緊致,易用的提取類型的離子槍,主要用于樣品表面清潔。該源生成的離子電流大于70微安每平方厘米(氬氣),該離子電流具有高斯光束的輪廓。離子源的插入深度可根據(jù)個人要求調(diào)整(62.5mm-384.5之間)。


特征:


使用惰性氣體(Ar)和活性氣體(O2, H2,碳?xì)浠衔?,使用活性氣體會縮短離子源壽命



高離子束電流

長壽命



高穩(wěn)定性


可選項:


氣體計量系統(tǒng)

定制的插入長度

線性移位


技術(shù)數(shù)據(jù):



安裝法蘭        DN40CF(不可旋轉(zhuǎn))

能量范圍        0.12keV -  5keV

電流密度        > 120uA /cm2  (30mm的距離)

屏蔽              銅,不銹鋼(針對活性氣體)

陰極類型       銥(鍍氧化釔涂層)

半峰寬度      (FWHM)取決于離子能量和工作距離(例如,工作距離為30mm時,為3mm)

典型工作距離  30 – 250mm

烘烤溫度        可達(dá)250攝氏度

工作壓力        10-5 - 10-6 mbar



IS40C1電源



描述:

  適配器驅(qū)動IS40C1離子源,該離子源廣泛用于高真空樣品清洗和準(zhǔn)備。電源允許通過數(shù)字編碼器對束能量和離子密度進(jìn)行微調(diào),

所有設(shè)置可以手動調(diào)節(jié),可以被存儲,開機(jī)后,會自動喚醒這些設(shè)置。該設(shè)備還具有內(nèi)置定時器和自動待機(jī)模式。通過USB端口輕松更新固件。可以通過RS232/485或者以太網(wǎng)界面遠(yuǎn)程控制。該裝置具有自動保存功能(設(shè)備保存您的參數(shù),預(yù)設(shè)并在重新啟動后自動應(yīng)用)


可選項:

1.用于真空測量的模擬I/O卡(1表)

2.離子源控制應(yīng)用



技術(shù)數(shù)據(jù):

電源電壓                           100 - 240 V, 50-60 Hz,

                                       

離子束能量(E)                   0.00 - 5 keV, 分辨率 0.01 keV, 紋波 < 0.2 mV

發(fā)射電流(le)                       0.01 - 10 mA, 分辨率0.01 mA

定時器                                雙模定時器0秒-99小時59分

真空測量(可選)               CTR90, TTR91, TTR211, PTR225,

            PTR90, ITR90, ITR100, Baratron,

             ANALOG IN, MKS937A, PG105,

             MG13/14, PKR251/360/361,

             PCR280, ATMION

通信接口                            RS232/485, Ethernet

通信協(xié)議                            MODBUS-TCP

用戶界面                            7英寸TFT顯示屏,帶觸摸屏,數(shù)字編碼器

界面語言                            英語,德語,波蘭語

尺寸                                   483 x 133 x 437毫米(寬×高×深),19英寸可安裝機(jī)架

重量(大約)                      9.2kg















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