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朗繆爾探針系列

Langmuir

離子能量分析儀

RFEA

射頻VI探測(cè)器

VI Probe

射頻異常探測(cè)器

Arc Sensor

等離子體測(cè)量光譜儀

OES

等離子體處理/清洗

Henniker

高溫爐系列

Deltech

殘余氣體分析

RGA

真空多軸機(jī)械臂&傳動(dòng)裝置

Vacuum multi axis robotic arm

離子槍&電子槍&其它

Ion gun&electron gun&others

射頻負(fù)載

RF Dummy Load

射頻發(fā)射譜分析儀

RF Emission Spectrometer

常壓朗繆爾探針（Atmospheric）

發(fā)布日期：2024-12-20 20:00 瀏覽次數(shù)：

常壓朗繆爾探針可用于常壓條件下等離子體參數(shù)的測(cè)試,，升級(jí)的雙探針系統(tǒng)可保證常壓測(cè)量下數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性,，如：


等離子體密度(Ni)：108 to 3x1014 cm-3

離子電流密度(Jp)：1uA/cm2 -30mA/cm2

電子溫度(kTe)：0.1 to 15eV

德拜長(zhǎng)度（Ld）

另可配備水冷系統(tǒng)，用于3000度以內(nèi)的高溫等離子體環(huán)境中,。


010-88134534