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在真空鍍膜尤其是在鍍絕緣材料的環(huán)境中,，普通的朗繆爾探針在測試過程中針尖會很快被材料覆蓋從而導(dǎo)致測試失效的問題,，Impedans特別研發(fā)了專門用于此惡劣環(huán)境下的平面探針,。該探針獨(dú)特的平面探頭結(jié)構(gòu)以及AC電壓的施加方式,，可確保測試在鍍膜厚度50um的條件下正常工作,，即使鍍膜厚度超過50um,，簡易的探頭更換設(shè)計(jì)也使得時(shí)間和維護(hù)成本大大降低,。
等離子體密度(Ni)：108 to 3x1014 cm-3
離子電流密度(Jp)：1uA/cm2 -30mA/cm2
電子溫度(kTe)：0.1 to 15eV
德拜長度（Ld）
15810948110
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