沉積速率能量分析儀（Quantum）

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這是一款專門用于沉積鍍膜過程中測量離子效率的工具,，Quantum沉積速率能量分析儀除了具備Semion的所有功能,，即基礎(chǔ)的離子能量和離子流量測量功能外，還配備了石英微天平,，可用于測量離子/中性粒子比例和沉積速率,。

系統(tǒng)配置

測量參數(shù)： 

離子能量范圍                                                                  0 - 2000eV max

離子流量                                                                         0.001 - 700mA/cm2 

時間分辨頻率范圍                                                          4Hz to 100 kHz

離子能量分布函數(shù)（IEDF）分辨率                                +/- 1eV nominal 

石英微天平頻率范圍                                                       3.5-6.1MHz

沉積速率分辨率                                                              12.3ng/cm2 

膜厚分辨率                                                                     0.4nm

數(shù)據(jù)傳輸                                                                        1次/秒

RFEA 探測器：

探測器直徑                                                     33mm
底座直徑                                                        標(biāo)準(zhǔn):70mm,100mm(4"),300mm(12") ,，或按要求定制其它尺寸

底座厚度                                                        5mm

安裝                                                               探測器與底座一體化安裝

探測器殼體材料l                                            陽極氧化鋁，不銹鋼,，或按要求定制其它材料

探測器底座材料                                             陽極氧化鋁,，不銹鋼，或按要求定制其它材料

底座至腔壁連線長度                                     標(biāo)準(zhǔn)：650mm,，可定制其它長度

腔室整體連接裝置：

法蘭型號                                                       標(biāo)準(zhǔn)： CF40,； 或定制其他型號

電子控制單元

電壓范圍                                                      -600V to +600V (抑制電壓), -2000V to +2000V (柵極掃描電壓)

電流范圍                                                      100pA to 60mA

通訊方式                                                       USB 2.0

軟件

操作系統(tǒng)                                                      Windows 7以上

* 由直流偏壓決定

具體配置請參考產(chǎn)品手冊,。