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射頻發(fā)射譜分析儀

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射頻等離子體發(fā)射譜分析儀（RES-Moduli）

發(fā)布日期：2024-12-20 21:18 瀏覽次數(shù)：


應(yīng)用于射頻等離子體測量及過程控制


射頻發(fā)射譜分析儀可以方便的放置于等離子體真空腔室外,，直接監(jiān)測到等離子體發(fā)射出的射頻信號及諧波變化,。該儀器設(shè)計(jì)用來進(jìn)行終點(diǎn)檢測、等離子體狀態(tài)監(jiān)控,、故障診斷等,，而無需對射頻線路進(jìn)行任何介入式的安裝方式；尤其針對小面積刻蝕的終點(diǎn)檢測,，具有優(yōu)異的表現(xiàn),，同時(shí)也可被用來檢查氣體泄露、晶圓錯(cuò)位,、工藝故障導(dǎo)致的的等離子體變化等,。射頻信號的接收天線可置于觀察窗、匹配器附近或者任意有射頻信號泄露的地方即可開始檢測,。



 

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