合成波射頻VI探測器（Octiv Suite）

• 

合成波射頻VI探測器Octiv Suite是該系列中功能比較全的一款產(chǎn)品，除了涵蓋Poly能測的所有參數(shù)（電壓、電流,、功率,、相位、阻抗,、諧波等）,，還能對電壓電流的波形進(jìn)行重建，實時繪制出電壓電流的真實波形,；如將該探測器直接接于腔室電極端,，則可直接測量電極附近的離子流量即Ion Flux。

測量參數(shù)：

• 頻率（40K-240M,，任選五個頻點）
• 電壓, 電流, 相位
• 真實,、入射、反射功率
• 阻抗
• 諧波

  電壓電流波形重建

• 離子流量（ion flux）測量

  

• 配置：
  

  范圍*		精確度*
  功率	0-12.5kW	電壓	± 1%
  頻率	40K-240M,，選5個	電流 相位	± 1% ± 1°
  電壓	0 - 3000 Vrms	功率	± 1%
  電流	0 - 50 Arms	采樣率	1-10Hz
  相位	-90° -> + 90°	傳感器阻抗	50 Ohms
  分辨率		插入損耗	0.05dB
  電壓 電流 相位	± 0.25V ± 5.0mA ± 0.01°	諧波成分	最多128條
  *據(jù)不同接頭