射頻異常系統(tǒng)控制服務器（Fab-Art 800）

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Fab-Art 800

射頻異常系統(tǒng)控制服務器

    顯示、監(jiān)測及控制射頻異常系統(tǒng)

在線監(jiān)測射頻異常系統(tǒng)的狀態(tài)，適用于連續(xù)波和脈

Fab-Art 800 控制服務器為部署在集成電路生產過程中的射頻異常系統(tǒng)在線監(jiān)測提供了強大的緊湊型解決方案。無論是用于特定的射頻等離子體腔室分析，還是作為芯片工廠的中控或者FDC 系統(tǒng)的一部分，Fab-Art 800都可以用于執(zhí)行快速有效的數據分析及傳輸控制。該控制器既可以單獨與一臺射頻異常探測器進行連接，也可以通過簡單的Ethernet等方式與多套探測器組成的射頻異常系統(tǒng)進行連接，用于滿足高速苛刻的技術要求。Fab-Art 800控制服務器在后期的應用擴展中，將不僅僅局限于射頻異常系統(tǒng)，對于針對等離子體工藝過程中用到的其它監(jiān)測傳感器，也同樣支持開發(fā)各項集成功能。

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