射頻異常系統(tǒng)控制服務(wù)器（Fab-Art 800）

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Fab-Art 800

射頻異常系統(tǒng)控制服務(wù)器

    顯示、監(jiān)測(cè)及控制射頻異常系統(tǒng)

在線監(jiān)測(cè)射頻異常系統(tǒng)的狀態(tài)，適用于連續(xù)波和脈

Fab-Art 800 控制服務(wù)器為部署在集成電路生產(chǎn)過(guò)程中的射頻異常系統(tǒng)在線監(jiān)測(cè)提供了強(qiáng)大的緊湊型解決方案。無(wú)論是用于特定的射頻等離子體腔室分析，還是作為芯片工廠的中控或者FDC 系統(tǒng)的一部分，F(xiàn)ab-Art 800都可以用于執(zhí)行快速有效的數(shù)據(jù)分析及傳輸控制。該控制器既可以單獨(dú)與一臺(tái)射頻異常探測(cè)器進(jìn)行連接，也可以通過(guò)簡(jiǎn)單的Ethernet等方式與多套探測(cè)器組成的射頻異常系統(tǒng)進(jìn)行連接，用于滿足高速苛刻的技術(shù)要求。Fab-Art 800控制服務(wù)器在后期的應(yīng)用擴(kuò)展中，將不僅僅局限于射頻異常系統(tǒng)，對(duì)于針對(duì)等離子體工藝過(guò)程中用到的其它監(jiān)測(cè)傳感器，也同樣支持開(kāi)發(fā)各項(xiàng)集成功能。

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