非接觸射頻異常探測器

發(fā)布日期：2024-12-20 20:45 瀏覽次數(shù)：

致力于高級射頻等離子體診斷和控制

Moduli RF spectrometer非接觸射頻異常探測器，可以從等離子體腔室外直接監(jiān)測等離子體輻射出來的諧波等信號,，從而可以表達(dá)等離子體的反應(yīng)過程。只需要將射頻天線安裝在觀察窗,、匹配器風(fēng)扇或者匹配器外殼上,，就可以開啟監(jiān)測過程,，因此可以用來在生產(chǎn)線上進(jìn)行終點(diǎn)檢測和故障檢測，而不需要在射頻傳輸線上安裝在線傳感器,。在開口區(qū)域比較小的終點(diǎn)檢測應(yīng)用中,，和光學(xué)儀器技術(shù)相比，射頻終點(diǎn)檢測已經(jīng)表現(xiàn)出了優(yōu)越性能,。它也已被證明可以檢測氣體泄漏,、wafer錯(cuò)位和其他嚴(yán)重的等離子體故障現(xiàn)象。

配置

天線電源適配器	5 Vdc, 4.1 mm 公頭
天線形狀	[40 mm x 40 mm x 40 mm] & 定制
天線通信	2 x SMA 同軸線
采集單元電源適配器	24 Vdc, 0.5 A, 4.1 mm 公頭
采集單元接口	Micro USB, Serial, Ethernet
采集單元協(xié)議	USB, HTTP Web Service, EtherCAT, Ethernet/IP Others on request
采集單元形狀	[122 mm x 70 mm x 41 mm]
連接方式 (Impedans Software)	USB 2.0, Ethernet
通信協(xié)議 (Standard)	USB 2.0, HTTP Web Service
通信協(xié)議 (OEM Options)	EtherCAT, EtherNet/IP, Serial, RS232
參數(shù)報(bào)告速率(Standard)	可調(diào); USB up to 500 S/s, Ethernet up to 100 S/s
采集單元脈沖同步	外部同步: TTL input 內(nèi)部同步: Software level trigger

監(jiān)測參數(shù)

基頻 (F0)	5個(gè)
基頻范圍	350 kHz - 100 MHz or 40 kHz - 400 kHz
諧波頻率(FN) 范圍	350 kHz - 500 MHz or 40 kHz - 2 MHz
諧波頻率 (FN)	≤ 15 per fundamental (64 max.), ≤ 32 simultaneously
每個(gè)頻率輸出參數(shù)	V & I [不校準(zhǔn)], 相位, 諧波
射頻脈沖輪廓描繪	1 微秒分辨率
脈沖內(nèi)檢測	監(jiān)控脈沖內(nèi)的兩個(gè)點(diǎn)[standard software], 監(jiān)控脈沖內(nèi)任意個(gè)點(diǎn)[使用API]
射頻脈沖范圍	10 Hz to 100 kHz
附加功能	射頻波形重建
電壓通道范圍	任意 [可調(diào)節(jié) gain]
電流通道范圍	任意 [可調(diào)節(jié) gain]
相位范圍和分辨率 [僅當(dāng)V和I通道被鎖定時(shí)可用]	+/-180 度,， 0.02 度分辨率
諧波相位范圍和分辨率	+/-180 度,， 0.02 度的分辨率

參考應(yīng)用

清洗終點(diǎn)檢測	刻蝕終點(diǎn)檢測
晶圓移位探測	等離子體阻抗監(jiān)控
漏氣和氣體污染探測	工藝重復(fù)性
硬件老化檢測	匹配器故障等

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