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Alfven 100是一款先進(jìn)的一體化的診斷儀器,，用于等離子體工藝過程中的放電異?，F(xiàn)象檢測(cè),。
Alfven能夠以1us的分辨率進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量,，因此它即可用于檢測(cè)和表征Arc,，同時(shí)還可以監(jiān)測(cè)每一個(gè)射頻脈沖,，以檢查每個(gè)脈沖是否符合預(yù)先的設(shè)定,。 Arc和射頻脈沖缺失可能導(dǎo)致晶圓缺陷,，因此,，Alfven 100是快速故障排除和監(jiān)測(cè)的必要工具。
配置 | |
探頭特性阻抗 | 50 Ohms as standard |
接頭類型 | QC, EIA and custom options |
適用功率范圍@ 50 歐姆阻抗 | Standard: 12 kW typical (connector dependent) High Power: 30 kW & 90 kW |
工作溫度范圍 | 10 - 80 degC |
供電 | 15-24 V DC, 0.5 A |
通信接口 | Micro USB, RJ45x2 |
連接 (自帶軟件) | USB 2.0, Ethernet |
通信協(xié)議 (Standard) | USB 2.0, HTTP Web Service |
通信協(xié)議(OEM 選用) | EtherCAT, EtherNet/IP |
參數(shù)報(bào)告速率 | 10 Samples/second |
主板數(shù)據(jù)存儲(chǔ) | 14 hours of average data plus up to 5000 typical pulse or arc events |
| 監(jiān)測(cè)電壓電流參數(shù) | |
電壓范圍 (典型) | 0.3 to 3000 VRMS |
電壓分辨率 | 0.1 VRMS |
電流范圍 | 2.5 mARMS to 25 ARMS |
電流分辨率 | 2.5 mARMS |
電壓&電流精度 | Uncalibrated |
Arc持續(xù)時(shí)間 | 1 μs to 5000 μs |
Arc幅值范圍 | 1% to 100% change |
Arc分類 | 9 |
Pulse頻率范圍 | 5 Hz to 100 kHz |
脈沖分級(jí)監(jiān)測(cè) | Upto 3 levels |
脈沖時(shí)間分辨率 | 1 μs |
脈沖參數(shù)監(jiān)測(cè) | Pulse frequency, Duty cycle (of each pulse level), Average, Max & min voltage and Current |
可設(shè)置程序步驟數(shù) | 40 steps max |
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