在線射頻異常探測器（Arc Sensor）

發(fā)布日期：2024-12-20 20:46 瀏覽次數(shù)：

Alfven 100是一款先進的一體化的診斷儀器，用于等離子體工藝過程中的放電異常現(xiàn)象檢測。

Alfven能夠以1us的分辨率進行實時測量，因此它即可用于檢測和表征Arc，同時還可以監(jiān)測每一個射頻脈沖，以檢查每個脈沖是否符合預先的設定。 Arc和射頻脈沖缺失可能導致晶圓缺陷，因此，Alfven 100是快速故障排除和監(jiān)測的必要工具。

配置
探頭特性阻抗	50 Ohms as standard
接頭類型	QC, EIA and custom options
適用功率范圍@ 50 歐姆阻抗	Standard: 12 kW typical (connector dependent) High Power: 30 kW & 90 kW
工作溫度范圍	10 - 80 degC
供電	15-24 V DC, 0.5 A
通信接口	Micro USB, RJ45x2
連接 (自帶軟件)	USB 2.0, Ethernet
通信協(xié)議 (Standard)	USB 2.0, HTTP Web Service
通信協(xié)議(OEM 選用)	EtherCAT, EtherNet/IP
參數(shù)報告速率	10 Samples/second
主板數(shù)據(jù)存儲	14 hours of average data plus up to 5000 typical pulse or arc events

Arc & Pulse 監(jiān)測

Arc持續(xù)時間	1 μs to 5000 μs
Arc幅值范圍	1% to 100% change
Arc分類	9
Pulse頻率范圍	5 Hz to 100 kHz
脈沖分級監(jiān)測	Upto 3 levels
脈沖時間分辨率	1 μs
脈沖參數(shù)監(jiān)測	Pulse frequency, Duty cycle (of each pulse level), Average, Max & min voltage and Current
可設置程序步驟數(shù)	40 steps max

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